Первое авто, в котором был поставлен микромеханический датчик Бош (Bosch), было выпущено больше 10 лет назад. Этот датчик давления начал новую эру управления двигателем автомобиля и стал первым в эпопее стремительного развития производства в данной сфере.
С тех пор, компания Bosch произвела не менее 400 миллионов микромеханических датчиков (МД). Компания в 1996 году начала выпускать датчик Bosch массового расхода воздуха, а уже в следующем – датчик Bosch (Бош) ускорения для систем управления натяжителями ремней безопасности и систем управления подушками безопасности, а также управления системой ABS.
В 1998 году немецкий производитель массово начал выпускать на рынок микромеханический датчик Бош (Bosch) поворота для электронной программы регулирования движения ESP. А уже в 2000 году инженерами компании был разработан первый во всем мире датчик Бош угла поворота, который обладает возможностью распознавания опрокидывания автомобиля, после чего он сразу же активирует нужную систему безопасности для того, чтобы защитить водителя и пассажиров.
Следующим шагом в развитии датчиков было внедрение на рынок в нынешнем году датчика ускорения. Этот датчик Bosch (Бош) был разработан специально для потребительских товаров, таких как игровые консоли и мобильные телефоны.
Датчики производят измерения угла поворота, ускорения, давления, а также способствуют тому, что авто становится экономичнее, чище и что самое главное безопаснее. Ударостойкие и малогабаритные – они изготавливаются с применением полупроводниковой технологии. Сотворенные как цельные микросхемы, они полностью заменили своих предшественников, которые состояли из нескольких элементов. В будущем новая технология даст возможность существенно увеличить степень интеграции и расширить количество функций, которые выполняются сенсорами и снизить их габариты.
Стоит отметить, что самой основной составляющей как МД, так и разнообразных электронных и полупроводниковых элементов является кремний. Так как в производстве важны не только полупроводниковые его свойства, но также и механические.
Когда изготавливается микромеханический датчик Бош, применяются тонкие пластины, выполненные из монокристаллического кремния из комбинации с двумя технологиями: объемной и поверхностной микромеханики. Это дает возможность изготавливать большое количество датчиков с разнообразными параметрами.